國內(nèi)市場對于高性能壓電泵的需求逐漸增大，與國外研究相比，國內(nèi)研究的壓電隔膜泵大多是以晶片式壓電振子作為驅(qū)動(dòng)裝置，通過降低共振頻率來克服自身振幅小的缺點(diǎn)。自從20世紀(jì)末開始，國內(nèi)的眾多研究學(xué)者開始加入到壓電隔膜泵的研究之中。

1998年，吉林大學(xué)首次對壓電隔膜泵進(jìn)行了研究，通過分析壓電隔膜泵的特性和工作原理，先后設(shè)計(jì)出多種不同結(jié)構(gòu)的壓電隔膜泵。其中，包括閥泵·、無閥泵…及多泵腔隔膜泵等。有一部分已經(jīng)投入市場目前景較為可觀。

2011年，吉林大學(xué)的研究學(xué)者對壓電隔膜泵結(jié)構(gòu)創(chuàng)新設(shè)計(jì)出一種新型高性能的壓電隔膜泵，該研究學(xué)者利用這種隔膜泵制作出一種胰島素定量注射器，裝置應(yīng)用于動(dòng)物實(shí)驗(yàn)中對動(dòng)物有較好的血糖控制能。

2012年，北京聯(lián)合大學(xué)提出了一種新型結(jié)構(gòu)隔膜泵。該泵的特點(diǎn)是通過調(diào)節(jié)腔室內(nèi)的可移動(dòng)面來調(diào)節(jié)不同液體的混合比例。

2012年，吉林大學(xué)設(shè)計(jì)了一種以雙晶片壓電振子為動(dòng)力源的共振型氣體壓電隔膜泵，通過周邊固定方式將圓形壓電振子固定住，利用共振系統(tǒng)進(jìn)行放大，提高泵腔隔膜的氣體壓縮率，放大比約為4.2。

2015年，國立臺灣大學(xué)的研究一種新型共振泵，該泵加入導(dǎo)向肋結(jié)構(gòu)以此來提高泵的自吸能力和流體輸送能力，通過對比試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)沒有導(dǎo)向肋的流量比有導(dǎo)向肋的流量減少了兩倍左右。

2015年，吉林大學(xué)學(xué)老提出一種新結(jié)構(gòu)隔膜泵，它是由單個(gè)圓形壓電振子組成兩個(gè)泵腔的壓電隔膜泵，通過中間的流道將相鄰的兩個(gè)泵腔串聯(lián)，當(dāng)給壓電振子施加電壓，圓形壓電振子產(chǎn)生振動(dòng)，兩個(gè)泵腔由于泵腔串聯(lián)當(dāng)給壓電振子施加電壓，圓形壓電振子產(chǎn)生電振子在泵腔中的能體積的變化而周期性的吸入和排出流體，可以有效提高壓電振子在泵腔中的能量轉(zhuǎn)化率。

2016年，中山大學(xué)的研究人員研究一種新型壓電隔膜泵，隔膜泵通過增加或減少隔膜泵的講出口數(shù)量來激發(fā)或抑制隔膜泵的方向回流從而達(dá)到提高該結(jié)構(gòu)的流量輸出和壓力的穩(wěn)定性。實(shí)驗(yàn)表明，壓電隔膜泵的最大流量和最大壓力都有很大提高。