隔膜真空泵作為一種新型驅(qū)動(dòng)泵，其顯著特點(diǎn)為能耗低、控制精度高、響應(yīng)度快、可靠性穩(wěn)定、堅(jiān)實(shí)耐用、無(wú)熱量生成以及具有較好的輸入輸出性能廣泛應(yīng)用在航空航天、醫(yī)療化工、自動(dòng)化等領(lǐng)域。 隔膜真空泵是利用驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)將動(dòng)力間接的傳導(dǎo)至泵腔隔膜，采用共振原理實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的互動(dòng)。天津津騰研究人員通過(guò)改變不同結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)了具有不同功能和應(yīng)用場(chǎng)景的隔膜真空泵。


早在1975年，美國(guó)L.Thomas Jr等學(xué)者設(shè)計(jì)了一種隔膜泵,在試驗(yàn)過(guò)程中通過(guò)將兩個(gè)圓形 振子對(duì)稱分布形成一個(gè)封閉的泵腔，在電壓的驅(qū)動(dòng)這兩個(gè) 振子會(huì)產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)流體的輸出。雙對(duì)稱 振子相較于單個(gè) 振子使隔膜泵腔體容積變化更大，流體輸出更高。入口閥和出口閥都采用電磁換向閥，用來(lái)配合 振子做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

1978 年日本學(xué)者提出了一種雙振子單腔的 隔膜泵，該泵主要依靠被動(dòng)單向閥實(shí)現(xiàn)進(jìn)出口液體的單向流動(dòng)。美國(guó)研究學(xué)者研究了種新型 隔膜泵該泵可以精確的控制藥物輸送

1980年，荷蘭學(xué)者 VanLitel等人采用特殊方法對(duì)硅材料的表面進(jìn)行精細(xì)加工，采用輕薄的玻璃制成泵腔隔膜，通過(guò) 振子振動(dòng)壓縮腔體實(shí)現(xiàn)流體的流動(dòng).

1999 年，日本學(xué)者設(shè)計(jì)出一種波紋管式微型共振隔膜泵，工作時(shí)，通過(guò)壓電堆疊間接驅(qū)動(dòng)泵腔隔膜產(chǎn)生形變，使泵腔的體積發(fā)生變化，實(shí)現(xiàn)流體的傳輸。

2004 年，德國(guó)學(xué)者提出了一種新型壓電堆疊共振泵，通過(guò)壓電堆著和質(zhì)量塊構(gòu)成振動(dòng)系統(tǒng)，聚動(dòng)流體由入口進(jìn)入再由出口排出。

2009 年，日本學(xué)者 Dau等人研發(fā)出一種新型無(wú)閥氣體泵，該泵在材料表面加工十字交又微通道結(jié)構(gòu)并使通道內(nèi)的流體在一個(gè)振動(dòng)周期內(nèi)發(fā)生變化，在無(wú)閥的售況下對(duì)氣體實(shí)現(xiàn)單向輸送。

2012年，美國(guó) Yasser Anis等學(xué)者設(shè)計(jì)了一種靜態(tài)變形驅(qū)動(dòng)的 隔膜泵這種隔膜泵可以完成單個(gè)微粒細(xì)菌的拾取。

2012年，以色列學(xué)者 Gabor K6sa和 Ori Ehrenberg 設(shè)計(jì)出一種依靠行波驅(qū)動(dòng)液的微泵。該泵結(jié)構(gòu)由六段連接電極的管構(gòu)成動(dòng)液體的微泵分別施加等頻率但幅值不同、相位不同的電壓管產(chǎn)生的行波就會(huì)驅(qū)動(dòng)液體前進(jìn)。